四探針 四探針測(cè)試儀 薄膜電阻測(cè)定儀 型號(hào): SZT-2A
1.SZT-2A 主機(jī)采用的電路設(shè)計(jì),所測(cè)數(shù)值更精、更快、更準(zhǔn)(一代為傳統(tǒng)式電路,缺點(diǎn):體積大,速度慢,元器件繁多導(dǎo)致影響機(jī)器壽命)。
2.屏幕采用液晶顯示(一代為只有數(shù)碼管顯示)。
3.匹配電腦接口及軟件,讓操作簡(jiǎn)便明了化(可直接連接電腦,電腦進(jìn)行自動(dòng)運(yùn)算根據(jù)輸入厚度,自動(dòng)比照并修正系數(shù),使被測(cè)結(jié)果更,數(shù)據(jù)可儲(chǔ)藏或刪除,利于使用方保存記錄)。
4.二代的測(cè)試架采用自動(dòng)傳感裝置,接近被測(cè)物體時(shí)實(shí)行自動(dòng)減速,避免了被測(cè)物體的損耗和探頭的磨損(于國內(nèi)市場(chǎng)上任何一款同類產(chǎn)品的測(cè)試架,老一代為手動(dòng))。 5. 本儀器測(cè)試電阻、電阻率、方塊電阻時(shí),標(biāo)準(zhǔn)系數(shù)為機(jī)器自帶自調(diào),無需另外手工調(diào)整,省去了原儀器的諸多麻煩。
6. 本儀器的zui小分辨率為0.1mΩ
7.主機(jī)帶有手自一體功能
8.測(cè)試探頭為鎢針,市場(chǎng)上多為高速鋼針。
9.每次測(cè)量均有內(nèi)置計(jì)算機(jī)自動(dòng)進(jìn)行溫度補(bǔ)償及電壓電流矯正。
10.整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度:≤ 2%(國內(nèi)其它廠家誤差為≤ 5% )
11. 技術(shù)參數(shù):
1). 測(cè)量范圍:
電阻率:10的-4次方~10的5 次方Ω-cm
方塊電阻:10的-4次方 ~10的5 次方Ω/□
電阻:10的-4次方 ~10的5 次方Ω
2). 可測(cè)半導(dǎo)體材料尺寸
直徑:5mm-130mm
長(zhǎng)度:≤400mm
3). 測(cè)量方法:
軸向、斷面均可
4). 顯示方式:41/2,數(shù)顯,性、過載自動(dòng)顯示,小數(shù)點(diǎn)、單位自動(dòng)顯示。
5). 恒流源:
(1) 電流輸出:直流電流0~100 mA連續(xù)可調(diào)。
(2) 量程:10、100μA、1、10、100mA
(3) 誤差:±0.5%讀數(shù)±1個(gè)字
6).四探針測(cè)試探頭
(1) 探針間距:1mm
(2) 材料:碳化鎢.探針機(jī)械游移率:±1.0%
7).電源:220±10% 50Hz或60Hz 功耗:<35W
8) SZT-2A 分為帶電腦接口和不帶電腦接口的兩種,帶接口功能為當(dāng)硅片的厚度<1mm時(shí)自動(dòng)修正讀數(shù),使得測(cè)量出的數(shù)據(jù)準(zhǔn)確率為99%,被測(cè)試的數(shù)據(jù)自動(dòng)生成表格并可以打印,可以隨時(shí)保存和刪除.